真空爐可以在真空中進(jìn)行熱處理。冷壁真空爐和熱壁真空爐是有區(qū)別的。冷壁真空爐使用一個(gè)水冷的真空接受器，在整個(gè)熱處理過程中保持低溫。加熱元件位于該接受器內(nèi)。另一方面，熱壁真空爐的加熱元件位于真空受體（如陶瓷或石英管）之外，而受體本身被加熱。

在空氣/氧化環(huán)境中，普通電阻型加熱元件的最高溫度為1800℃。對于高于這個(gè)溫度，必須使用真空爐，并且必須應(yīng)用非氧化性氣氛。真空爐允許電阻型加熱元件的溫度高達(dá)3000℃。

許多應(yīng)用需要真空熱處理，例如真空焊接和釬焊、真空退火、燒結(jié)等。一般來說，任何類型的熱處理都需要在規(guī)定的、大部分非氧化的氣氛中進(jìn)行真空爐。此外，使用真空爐進(jìn)行與空氣成分不同的確定的氧氣濃度的熱處理（例如，100%純O2）也是有意義的。

當(dāng)然，真空本身也是真空爐的一種可能的氣氛。根據(jù)不同的應(yīng)用，真空度可以是粗真空、細(xì)真空、高真空，甚至是超高真空。此外，由于真空爐可以完全去除空氣氣氛，因此也可以使用各種氣體或混合物，如氬氣、氮?dú)?、氫氣、一氧化碳、氦氣等?/span>

通常，石墨、鉬或鎢加熱元件被用于（冷壁）真空爐中。這些元素即使在高溫下也擁有低壓力。在真空中，有可能分別達(dá)到2200℃、1600℃和2200℃。